Title
Modelleren van plasmas gebruikt voor de afzetting van dunne lagen Modelleren van plasmas gebruikt voor de afzetting van dunne lagen
Author
Faculty/Department
Faculty of Sciences. Chemistry
Publication type
article
Publication
Subject
Chemistry
Source (journal)
Chemie magazine
Volume/pages
(2004) :2 , p. 34-38
ISSN
0379-7651
Carrier
E
Target language
Dutch (dut)
Affiliation
University of Antwerp
Handle